定量供給装置 FAM型
従来のベローズポンプに替え、新たに電磁定量ポンプを採用。
今まで以上に正確なエッチ液の濃度管理を実現しました。
● 二液（水＋エッチ液）混合タイプになります。
● 操作性重視コンパクト設計です。
● 既設の組成（pH）式湿し水冷却循環装置に取り付けが容易です。
● エッチ液テストボタンで吐出量が簡単に確認できます。
仕様
| 型式／仕様 | FAM-2ATS |
| 電源容量 三相200V |
1.0KVA |
| 混合液タンク （有効量） |
36（26）L |
| 添加液 | 水＋エッチ液 |
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